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NEU: Zweistufige pneumatische Membranventile der FITOK DPT-Serie

Die Zweistufigen pneumatischen Membranventile der FITOK DPT-Serie werden u.a. in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um ein schnelles Umschalten zwischen Low-Flow- und High-Flow-Modus zu ermöglichen.

Zweistufige pneumatische Membranventile sind platzsparender und kostengünstiger als die herkömmliche Methode der Druckregulierung und ersetzen das Hinzufügen einer zusätzlichen Bypass-Rohrleitung.

Vorteile:

  •  Schnelles Umschalten zwischen niedrigen und hohen Durchflussraten
  • Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten
  • minimalisierte Partikelerzeugung und minimaler Totraum
  • Federloses Innen-Design ohne jegliche Gewinde


Technische Daten:

Ventilkörpermaterial 316L, 316L VAR
Ventilsitzmaterial PFA, PCTFE
Anschlussgröße  1/4"
Durchflusskoeffizient (Cv) High-Flow-Anschluss (HF): 0,27
Low-Flow-Anschluss (LF): 0,02 bis 0,12
Öffnungsgröße

0,16 Zoll (4,1 mm)

Arbeitsdruck

Vakuum bis 145 psig (10 bar)

Arbeitstemperatur

PFA: 14 ~ 302 °F (-10 ~ 150 °C)
PCTFE: 14 ~ 176 °F (-10 ~ 80 °C)

Rauheit der benetzten Oberfläche

Ra 5 μin. (0,13 μm)

Helium Lekrate

Intern ≤ 1x10-9 std cm3/s
Extern ≤ 1x10-9 std cm3/

 

 

 

 

 



 



 

 

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Tags: FITOK, Ventile, UHP

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