Die Zweistufigen pneumatischen Membranventile der FITOK DPT-Serie werden u.a. in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um ein schnelles Umschalten zwischen Low-Flow- und High-Flow-Modus zu ermöglichen.
Zweistufige pneumatische Membranventile sind platzsparender und kostengünstiger als die herkömmliche Methode der Druckregulierung und ersetzen das Hinzufügen einer zusätzlichen Bypass-Rohrleitung.
Vorteile:
- Schnelles Umschalten zwischen niedrigen und hohen Durchflussraten
- Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten
- minimalisierte Partikelerzeugung und minimaler Totraum
- Federloses Innen-Design ohne jegliche Gewinde
Technische Daten:
| Ventilkörpermaterial | 316L, 316L VAR |
| Ventilsitzmaterial | PFA, PCTFE |
| Anschlussgröße | 1/4" |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | High-Flow-Anschluss (HF): 0,27 Low-Flow-Anschluss (LF): 0,02 bis 0,12 |
| Öffnungsgröße |
0,16 Zoll (4,1 mm) |
| Arbeitsdruck |
Vakuum bis 145 psig (10 bar) |
| Arbeitstemperatur |
PFA: 14 ~ 302 °F (-10 ~ 150 °C) |
| Rauheit der benetzten Oberfläche |
Ra 5 μin. (0,13 μm) |
| Helium Lekrate |
Intern ≤ 1x10-9 std cm3/s |
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