Die Membranventile der FITOK DE-Serie wurden speziell für ultrahochreine Gas- und Flüssigkeitsanwendungen entwickelt.
Durch die Reduzierung der Anzahl an Komponenten und einer Optimierung bei den Bearbeitungsmethoden werden die hohe Zuverlässigkeit und ein attraktiver Preis erreicht.
Auch bei diesen Ventilen bekommen Sie die gewohnt hohe Qualität durch Verwendung der gleichen Materialien, Reinigungs- und Verpackungsverfahren wie bei den anderen Serien der FITOK-Membranventile.
Fortschrittliche Herstellungsprozesse und strenge Qualitätskontrollen stellen sicher, dass die Produkte die Anwendungsanforderungen von ultrahochreinen Fluid-Systemen für die Halbleiterindustrie erfüllen.
Eigenschaften:
- Partikelerzeugung minimalisiert
- wenig Totraumvolumen
- Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit
- Keine Federn oder Gewinde in benetzten Bereichen für eine höhere Reinheit
Technische Daten:
Anschlüsse | 1/4" Face Seal Verschraubung metalisch dichtend |
Durchflusskoeffizient (Cv) | 0,27 |
Öffnungsgröße | 4,1 mm (0.16 Zoll) |
Arbeitsdruck Vakuum | bis 10 bar (150 psig) |
Betriebsdruck Pneumatischer Stellantrieb |
4,2 ~ 6,2 bar (60 ~ 90 psig) |
Temperaturbereich |
-23 ~ 80 °C (-10 ~ 176 °F) |
Helium Lekrate |
Intern ≤ 1x10-9 std cm3/s Außen ≤ 1x10-9 std cm3/ |
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