Ab sofort erhalten Sie bei uns die neuen UHP-Filter der FP-Serie des Herstellers FITOK!
Die ultrahochreinen Filter der FP-Serie haben eine Abscheideleistung von 0,003 μm (mit einer Filtereffizienz von mehr als 99,9999999% bei maximaler Durchflussrate).
Ausgestattet sind diese Filter mit einem PTFE-Filterelement und bieten eine hervorragende chemische Kompatibilität in verschiedenen Halbleiterprozessen wie CVD, PVD und Trockenätz-Anwendungen.
Eigenschaften:
- Partikelabscheidegrad von ≥ 0,003 μm, mit einer Filtereffizienz von über 99,9999999 % bei maximalem Durchfluss
- Ausgezeichnete chemische Verträglichkeit
- 100 % Heliumdichtheit geprüft
Technische Daten:
| Material | Filter Element | PTFE | |||
| Stützkern | PFA | ||||
| Gehäuse | 316L SS oder 316L VAR | ||||
| Abscheideleistung | ≥ 0,003 μm | ||||
| Filtereffizienz (Log-Reduktionswert) | ＞ 99,9999999 % (9LRV) | ||||
| Heliumleckrate | ＜ 1×10 -9 std cm 3 /s | ||||
| Empfohlene Arbeitsflussrate | 0 bis 60 slpm (0 bis 2,1 scfm) |
0 bis 120 slpm (0 bis 4,2 scfm) |
0 bis 500 slpm (0 bis 17,7 scfm) |
0 bis 1.000 slpm (0 bis 35,3 scfm) |
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| Max. Betriebsdruck | 3000 psig ((207 bar)) | 1000 psig ((68,9 bar)) | |||
| Max. positiver Differenzdruck | 4 bar (58 psig) bei 23 °C | 87 psig (6 bar) bei 23 °C | |||
| Max. negativer Differenzdruck | 0,7 bar (10 psig) bei 23 °C | 44 psig (3 bar) bei 23 °C | |||
| Max. Betriebstemperatur | -22 ~ 248 °F (-30 ~ 120 °C) | ||||
Zusätzlich zu den Ultrahochreinheitsfiltern der FP-Serie finden Sie in unserem Sortiment viele weitere Arten von Membranventilen (Serien DQ, DP, DH, DM, DS, DR, DV, DL, DF, DE, DK und ALD), Vakuumgeneratoren (Serien VGB, VGM, VGC), hochreine Kugelhähne (Serien BGP, BHP, BDP, BRP), hochreine Schläuche (Serien TBA, TEP, PEP und TCA), Regler (Serien RDGC, RTGC, RDCC, RTCC) und mehr des Herstellers FITOK.
Diese Produkte sind perfekt auf die hohen Anforderungen von Fluidsystemkomponenten in Branchen wie der Halbleiterfertigung zugeschnitten.
Gerne stehen wir Ihnen bei Fragen zur Verfügung, senden Sie dazu Ihr Anliegen einfach an anfrage@hps-solutions.de oder kontaktieren Sie uns telefonisch unter +49 (0) 89 / 744 926-0. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage / Bestellung.
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