Ab sofort erhalten Sie bei uns die neuen präzisionsgefertigten Durchflussbegrenzer mit Rubin-Einsatz des Herstellers FITOK, die eine genaue Durchflussregelung in Rohrleitungen im UHP-Bereich gewährleisten.
Mit ihrer außergewöhnlichen Beständigkeit gegen Abrieb, Korrosion und hohe Temperaturen bieten diese Durchflussbegrenzer zuverlässige Leistung unter rauen Bedingungen, meist in Halbleiter-Ätzprozessen.
Eigenschaften:
- Lasergebohrte Öffnungen werden mit Diamantdraht gleichmäßig geschliffen, wodurch eine hohe Präzision und hervorragende Durchflusskonsistenz gewährleistet wird.
- Ein fortschrittlicher Crimpprozess sichert den Rubin an der Dichtung und sorgt so für minimale Partikelbildung und hohe Sauberkeit.
- Überlegene chemische Korrosionsbeständigkeit, geeignet für korrosive Ätzumgebungen mit aggressiven Chemikalien oder Gasen.
- Durch die hohe Härte und Abriebfestigkeit bleibt die Form der Öffnung während des Ätzens erhalten, wodurch die Partikelbildung minimiert wird.
- Dank der ausgezeichneten thermischen Stabilität können hohe Temperaturen in Ätzgeräten ohne Verformung oder Beschädigung überstanden werden.
- Gute Transparenz für bestimmte Wellenlängen des Lichts bei bestimmten Ätzprozessen mit optischer Überwachung oder Steuerung.
Technische Daten:
| Dichtungstyp | FR-Face Seal | C-Seal Surface Mounted |
| Größe | 1/8”, 1/4”, 1/2” | 1,125 Zoll |
| Max. Betriebsdruck | 10 bar (145 psig) | |
| Betriebstemperatur | -320,8 – 725 °F (-196 – 400 °C) | |
| Öffnungsgröße | 0,0015 Zoll ～ 0,0350 Zoll | |
| Durchflussabweichung | Innerhalb von ±5 % | |
| Heliumleckrate | ≤ 4×10 -11 std cm 3 /s | ≤ 1×10 -9 Standard-cm3 / s |
Zusätzlich zu den Durchflussbegrenzern mit Rubin-Einsatz von FITOK finden Sie in unserem Sortiment auch viele weitere UHP-Dichtscheiben sowie weitere UHP-Komponenten.
Gerne stehen wir Ihnen bei Fragen zur Verfügung, senden Sie dazu Ihr Anliegen einfach an anfrage@hps-solutions.de oder kontaktieren Sie uns telefonisch unter +49 (0) 89 / 744 926-0. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage / Bestellung.
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