Das Integrated Gas System von FITOK ist ein modulares System zur Schaltung und Absperrung von Gasstrecken in der Halbleiterindustrie.
FITOK verwendet für seine IGS entsprechende Reinstgaskomponenten welche dem SEMI-Standard für ein modulares Design entsprechen. Dies vereinfacht die Installation und Wartung der Systeme bei höchst kompakter Bauweise.
Vorteile:
- Modulares Design – Ausarbeitung der für Sie idealen Lösung mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort / Online bei HPS Solutions
- SEMI-Standard (1,125 ''W-Seal/C-Seal, 1,5'' W-Seal/C-Seal)
- Minimalisierung der Flusswege für eine höhere Kontaminationskontrolle sowie des generellen Aufbaus (Platzersparnis bis zu 2/3)
- Höchste Qualität und Reinheit
Die medienberührten Komponenten bestehen alle aus austenitischem Edelstahl 316LVIM-VAR, die Fließwege sind alle elektrolytisch poliert (Ra0,13) und die Fittings werden alle orbitalgeschweißt.
